典型文献
太赫兹扫描成像在高通量测量铜合金薄膜电导中的应用(特邀)
文献摘要：
高通量制备与表征对将材料基因组方法应用于先进材料研发制造实践起着关键作用.针对基于材料基因工程的高通量实验技术应用,采用透射式太赫兹扫描成像方法,对样品密度为144个/片的铜合金薄膜材料芯片进行了高通量电导的快速、微区检测.基于Tinkham薄膜透射方程及Fresnel公式的太赫兹光谱成像表征技术,对不同组分含量铜合金薄膜的太赫兹测量结果与四探针测量数据比较,具有一致的趋势.通过太赫兹成像可以进行同一基底上144个高通量组合铜合金样品点电导的半定量比较.对代表性样品点的电导变化趋势与合金组分含量变化趋势,以及微观组织形貌进行分析比较得到相关对应关系,显示出太赫兹检测方法用于微区高通量金属薄膜电导表征方面的巨大潜力,显著提升研发效率.
文献关键词：
材料基因工程;高通量;太赫兹光谱成像;铜合金;电导成像;微区采样
中图分类号：
作者姓名：
朱煜;颜识涵;臧子漪;宋盛星;王洁;茹占强;崔洪亮;宋贺伦
作者机构：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州215123;中国科学院重庆绿色智能技术研究院,重庆400714;中国科学院大学重庆学院,重庆400714;吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春130061
文献出处：
引用格式：
[1]朱煜;颜识涵;臧子漪;宋盛星;王洁;茹占强;崔洪亮;宋贺伦-.太赫兹扫描成像在高通量测量铜合金薄膜电导中的应用(特邀))[J].红外与激光工程,2022(04):29-39
A类：
铜合金薄膜,Tinkham,电导成像,微区采样
B类：
扫描成像,膜电导,特邀,高通量制备,制备与表征,将材,材料基因组,组方,先进材料,材料研发,研发制造,材料基因工程,高通量实验,实验技术,透射式,成像方法,薄膜材料,Fresnel,太赫兹光谱成像,表征技术,不同组分,组分含量,四探针,测量数据,数据比较,太赫兹成像,行同,半定量,定量比较,含量变化,微观组织形貌,金属薄膜,巨大潜力,研发效率
AB值：
0.288514
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