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功能薄膜形貌表征技术
文献摘要：
功能薄膜在光电器件、燃料电池、储能电池、气体分离、微电子及生物医学等领域表现出极大的应用潜力,成为学术界和工业界的研究重点.理解薄膜内部形貌形成机理,调控结晶行为和相分离结构,是提高薄膜器件性能的重要途径.散射技术,包括同步辐射X射线广角/小角散射(GIWAXS/GISAXS)、小角中子散射(SANS)、共振软X射线散射(RSoXS),作为表征薄膜内部微纳结构的有效手段,不仅可以研究薄膜材料的结晶行为,包括结晶强度、分子堆积方式和取向性质,还可以研究薄膜内的相分离行为和界面取向与粗糙度等结构细节.同时,原位散射技术可以实时检测薄膜形貌的形成过程,对理解非平衡态形貌形成机制具有重要意义.本文不仅总结了GIWAXS、GISAXS、SANS、RSoXS和原位散射技术的基本工作原理,还通过经典案例详尽地介绍了各形貌表征技术的功能和数据解析过程,为科研工作者快速选择合适的形貌表征技术提供指导作用.
文献关键词：
薄膜光伏;散射技术;微纳结构;结晶特性;相分离结构
中图分类号：
作者姓名：
宋静楠;詹俊哲;张明;朱磊;郝天雨;徐锦秋;周子春;周冠清;薛晓楠;冯威;张永明;刘烽
作者机构：
上海交通大学化学化工学院转化分子前沿科学中心氢科学中心物理科学原位中心 上海200240;含氟功能膜材料国家重点实验室 淄博256401
文献出处：
引用格式：
[1]宋静楠;詹俊哲;张明;朱磊;郝天雨;徐锦秋;周子春;周冠清;薛晓楠;冯威;张永明;刘烽-.功能薄膜形貌表征技术)[J].高分子学报,2022(12):1552-1566
A类：
GISAXS,RSoXS
B类：
功能薄膜,薄膜形貌,形貌表征,表征技术,光电器件,燃料电池,储能电池,气体分离,微电子,工业界,形成机理,结晶行为,相分离结构,薄膜器件,器件性能,散射技术,同步辐射,广角,小角散射,GIWAXS,小角中子散射,SANS,线散射,微纳结构,薄膜材料,取向性,粗糙度,结构细节,实时检测,非平衡态,基本工作原理,经典案例,详尽,数据解析,科研工作,快速选择,薄膜光伏,结晶特性
AB值：
0.377428
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