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非均匀磁场螺旋波等离子体研究进展
文献摘要：
螺旋波等离子体具有高电离率、低工作气压、低外加磁场、无内电极、静态均匀性好等特点,广泛应用于聚变研究、等离子体推进、等离子体材料处理等领域.均匀磁场和非均匀磁场下螺旋波等离子体的耦合效率有所不同,在螺旋波等离子体源中应用非均匀磁场可显著改善等离子体参数和射频能量吸收,提高等离子体电离效率.本文主要对非均匀磁场下的螺旋波等离子体的磁场设计及分布、放电特性、应用进行综述,并展望了非均匀磁场螺旋波等离子体的发展方向.
文献关键词：
螺旋波等离子体;非均匀磁场;耦合机制;天线设计;放电特性
中图分类号：
作者姓名：
孙萌;张海宝;陈强
作者机构：
北京印刷学院等离子体物理与材料实验室 北京102600
文献出处：
引用格式：
[1]孙萌;张海宝;陈强-.非均匀磁场螺旋波等离子体研究进展)[J].真空科学与技术学报,2022(12):877-889
A类：
非均匀磁场
B类：
螺旋波等离子体,工作气压,外加磁场,聚变,等离子体材料,材料处理,场下,耦合效率,等离子体源,等离子体参数,射频能量,能量吸收,等离子体电离,放电特性,耦合机制,天线设计
AB值：
0.190522
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