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不同气压下微间距气体放电特性分析
文献摘要：
为了研究不同气压下微间距气体放电的过程,在1-100 kPa的可变气压环境下,在1-100 μm的电极间距范围内进行气体放电实验并对实验结果进行分析.在电极间距小于100μm,pd小于80 Pa· cm左右时,随着电极间距的减小,击穿曲线与传统Paschen曲线偏差增大,此时相同pd值对应多个击穿电压.分析各电极间距在不同气压下的击穿场强,发现在5 μm以下电极间隙,击穿场强接近108V/m量级,此时的间隙击穿主要由场致发射导致的.估算电极间距在不同气压下,场致有效二次发射系数与Townsend二次发射系数的比值,发现了不同间距范围内存在着不同的击穿机制以及离子增强场效应在数个微米量级的电极间隙的场发射中起着重要作用.
文献关键词：
Paschen曲线;微间距;场致发射;击穿机制;不同气压
中图分类号：
作者姓名：
李彦森;孙岩洲;王林华;贾斌;陈芸
作者机构：
河南理工大学电气工程与自动化学院 焦作454000
文献出处：
引用格式：
[1]李彦森;孙岩洲;王林华;贾斌;陈芸-.不同气压下微间距气体放电特性分析)[J].真空科学与技术学报,2022(01):75-81
A类：
108V
B类：
不同气压,微间距,气体放电,放电特性,kPa,电极间距,行气,pd,Paschen,线偏差,击穿电压,击穿场强,电极间隙,间隙击穿,场致发射,发射系数,Townsend,击穿机制,强场,场效应,数个,微米,场发射,射中
AB值：
0.293999
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