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基于飞秒激光时域热反射法的微尺度Cu-Sn金属间化合物热导率研究
文献摘要:
利用双波长飞秒激光时域热反射系统对微尺度Cu-Sn金属间化合物的热输运性能开展研究.利用回流与时效工艺制备Cu-Sn扩散偶,界面处生成均匀连续的Cu6Sn5和Cu3Sn金属间化合物,材料厚度均在微米量级且Cu6Sn5的(001)晶面具有明显的择优取向特征.由于实验参数对待测参量的敏感度会影响拟合精度,重点分析了铝传感层厚度与加热光调制频率对金属间化合物热导率测量敏感度的影响,以选定具体的实验参数.经测试,Cu6Sn5和Cu3Sn的热导率分别为47.4和87.6W/(m·K),均略高于已有研究报道,分析认为主要是由于样品制备技术不同而导致的材料微观结构差异所致.讨论了加热光斑尺寸、铝传感层厚度及材料比热容的不确定性对热导率测量误差的影响,得到Cu6Sn5热导率误差为-6.8%~4.6%,Cu3Sn热导率误差为-7.1%~4.4%.本工作表明飞秒激光时域热反射技术在电子封装微尺度金属间化合物热输运特性研究方面具备适用性,所得实测数据对于电子封装热设计及可靠性评价有重要参考意义.
文献关键词:
飞秒激光;时域热反射;金属间化合物;热导率
中图分类号:
作者姓名:
周丽君;位松;郭敬东;孙方远;王新伟;唐大伟
作者机构:
中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心 沈阳110016;中国科学技术大学材料科学与工程学院 沈阳110016;桂林电子科技大学机电工程学院 桂林541004;北京科技大学能源与环境工程学院 北京100083;大连理工大学能源与动力学院 大连116024
文献出处:
引用格式:
[1]周丽君;位松;郭敬东;孙方远;王新伟;唐大伟-.基于飞秒激光时域热反射法的微尺度Cu-Sn金属间化合物热导率研究)[J].金属学报,2022(12):1645-1654
A类:
B类:
飞秒激光,时域热反射,反射法,微尺度,金属间化合物,热导率,双波长,输运性能,能开,时效工艺,工艺制备,扩散偶,成均,Cu6Sn5,Cu3Sn,材料厚度,微米,晶面,择优取向,参量,拟合精度,传感层,光调制,6W,略高于,样品制备,制备技术,材料微观结构,结构差异,光斑尺寸,比热容,测量误差,工作表,反射技术,电子封装,热输运特性,热设计,可靠性评价
AB值:
0.315691
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