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石墨基底上制备TaC纳米颗粒的研究
文献摘要：
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备中的钽丝为加热源和钽源,在石墨基底上直接制备TaC纳米颗粒,并研究不同热丝功率对TaC颗粒尺寸及其致密度的影响.实验结果表明:当热丝功率为1 600 W时,TaC颗粒致密度低,颗粒尺寸较小,约为14 nm;随着功率逐渐增大,TaC颗粒致密度逐渐增高,颗粒尺寸缓慢增大;当功率增大到2 400 W时,TaC颗粒致密度高且形貌规则,颗粒尺寸增加到35 nm左右.研究结果为TaC纳米颗粒的制备提供了新方法.
文献关键词：
热丝化学气相沉积;石墨;TaC纳米颗粒
中图分类号：
作者姓名：
陈成克;姜从强;蒋梅燕;李晓;鲁少华;胡晓君
作者机构：
浙江工业大学材料科学与工程学院,浙江杭州310014
文献出处：
引用格式：
[1]陈成克;姜从强;蒋梅燕;李晓;鲁少华;胡晓君-.石墨基底上制备TaC纳米颗粒的研究)[J].浙江工业大学学报,2022(06):671-678
A类：
B类：
TaC,纳米颗粒,热丝化学气相沉积,HFCVD,钽丝,热源,颗粒尺寸,致密度,密度高
AB值：
0.185049
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