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防抖动小型热压印装置的研制
文献摘要：
针对传统的纳米压印装置的压头存在定位偏移、压印压力施加不均匀以及脱模过程中粘连等现象,设计并研制了防抖动的小型热压印装置.通过使五边形压头直连拉伸实验机以及对稳定装置和活塞帽形状的改进,可有效保证压印过程以及脱模过程中压印压力的均匀性.利用扫描电子显微镜(SEM)分别对压印压力7.5、20和40 MPa下制备的微结构进行了表征和分析.结果表明,压印压力为7.5 MPa时微结构的图形转移效果更优,制备的微结构最小直径可达3 μm.验证了改进后的热压印装置可有效提高定位精度,进而保证压印精确性,且通过缩减热压装置的体积,可实现微结构低成本、高效及大规模的生产.
文献关键词：
纳米压印;热压印;微结构;图形转移;防抖动
中图分类号：
作者姓名：
范若欣;王保志;李以贵
作者机构：
上海应用技术大学理学院,上海 201418;上海应用技术大学电气与电子工程学院,上海 201418
文献出处：
引用格式：
[1]范若欣;王保志;李以贵-.防抖动小型热压印装置的研制)[J].微纳电子技术,2022(08):807-812
A类：
B类：
防抖动,热压印,纳米压印,压头,定位偏移,印压,脱模,粘连,五边形,拉伸实验,实验机,稳定装置,活塞,中压,图形转移,小直径,定位精度,精确性,压装
AB值：
0.255479
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