典型文献
纳米压印技术的发展及其近期的应用研究
文献摘要：
综述了热纳米压印、紫外纳米压印、微接触印刷三种具有代表性的纳米压印(NIL)技术的原理、工艺流程和优缺点,并介绍了近几年来纳米压印技术的研究进展及其在光学器件、存储器、柔性器件和生物传感器等领域中的应用现状.
文献关键词：
热纳米压印;紫外纳米压印;微接触印刷;光学器件;存储器;柔性器件;生物传感器
中图分类号：
作者姓名：
张笛;张琰;孔路瑶;程秀兰
作者机构：
上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]张笛;张琰;孔路瑶;程秀兰-.纳米压印技术的发展及其近期的应用研究)[J].传感器与微系统,2022(05):1-5
A类：
热纳米压印,紫外纳米压印,微接触印刷
B类：
纳米压印技术,NIL,近几年来,光学器件,存储器,柔性器件,生物传感器
AB值：
0.126501
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