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n型IBC太阳电池磷掺杂工艺
文献摘要：
为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能,在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术,对电池背表面场区域进行磷离子注入.研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响,并研究了烧结工艺对IBC电池接触性能的影响.实验结果表明,当磷离子注入剂量为6.6×1014～6.8×1014 ions/cm2、烧结温度为840℃、烧结带速为9.4 m/min时,背表面场区域可同时获得良好的钝化性能和接触性能,制备的IBC电池最高光电转换效率可达24.38％,平均光电转换效率可达24.21％,对应的短路电流密度为42.553 mA/cm2,开路电压为701.9 mV,填充因子为81.35％.
文献关键词：
叉指背接触(IBC)太阳电池;离子注入;钝化性能;接触性能;光电转换效率
中图分类号：
作者姓名：
屈小勇;高嘉庆;郭永刚;吴翔;张博;杨爱静;张天杰
作者机构：
青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710100
文献出处：
引用格式：
[1]屈小勇;高嘉庆;郭永刚;吴翔;张博;杨爱静;张天杰-.n型IBC太阳电池磷掺杂工艺)[J].微纳电子技术,2022(03):278-283
A类：
B类：
IBC,太阳电池,磷掺杂,掺杂工艺,BSF,钝化性能,接触性能,制备工艺,离子注入,场区,磷离子,注入剂量,烧结工艺,ions,烧结温度,光电转换效率,短路电流密度,mA,开路电压,mV,填充因子
AB值：
0.244159
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