典型文献
锗二次阴极-直流辉光放电质谱法测定高纯石英中9种杂质元素
文献摘要：
锂、铍、硼、钠等作为高纯石英中的常见杂质元素,对产品的性能有重要影响,建立相应的测定方法至关重要.实验采用锗罩作为二次阴极,建立了直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)测定高纯石英中锂、铍、硼、钠、镁、铝、硫、钛、铜等9种杂质元素的方法.所用锗罩的厚度为0.25 mm,罩上有4个尺寸为1 mm×8 mm的狭缝,每个狭缝间隔1 mm.实验还考察了放电参数对基体信号强度、信号稳定性、基体和锗罩信号比的影响.实验表明,当在1.3 mA/1 350 V的放电参数下,28Si的信号强度可达1.3×109 cps,放电稳定,硅、锗的信号比为1 ∶40.按照实验方法测定高纯石英样品中锂、铍、硼、钠、镁、铝、硫、钛、铜,结果的相对标准偏差(RSD,n=5)均在30％以内;还对比了锗罩、钽罩对高纯石英测定结果的影响,结果表明,由于钽罩中铜含量较大,导致铜测定结果差异较大以外,其余元素测定结果基本一致.采用锗罩测定高纯石英中杂质元素的检出限可达ng/g级别,低于采用钽罩的检出限.
文献关键词：
直流辉光放电质谱法(dc-GDMS);锗罩;高纯石英;杂质元素;钽罩
中图分类号：
作者姓名：
谭秀珍;李江霖;李瑶;邓育宁;朱刘
作者机构：
国家稀散金属工程技术研究中心,广东先导稀材股份有限公司,广东清远511875
文献出处：
引用格式：
[1]谭秀珍;李江霖;李瑶;邓育宁;朱刘-.锗二次阴极-直流辉光放电质谱法测定高纯石英中9种杂质元素)[J].冶金分析,2022(11):24-29
A类：
锗罩,钽罩
B类：
阴极,直流辉光放电,辉光放电质谱法,高纯石英,杂质元素,建立相应,测定方法,dc,GDMS,狭缝,放电参数,信号强度,当在,mA,28Si,cps,照实,实验方法,相对标准偏差,RSD,测定结果,铜含量,余元,检出限
AB值：
0.198652
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