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等离子体制备纳米氮化钨薄膜的研究现状
文献摘要:
近年来,纳米材料及等离子体制备技术在国内外受到了越来越高的重视,过渡金属氮化物由于其类似贵金属铂的电子特性,具有优异的电导性、好的抗腐蚀能力、高熔点等特点,用于在各种材料上形成坚硬、耐磨的保护涂层,且被广泛用于电极材料和催化剂制备等领域.本文总结国内外目前用等离子体制备纳米结构氮化钨的研究现状并做出展望.
文献关键词:
等离子体;纳米;氮化钨
中图分类号:
作者姓名:
何革
作者机构:
成都大学机械工程学院 四川 成都 610106
文献出处:
引用格式:
[1]何革-.等离子体制备纳米氮化钨薄膜的研究现状)[J].信息记录材料,2022(12):1-3
A类:
氮化钨
B类:
钨薄膜,纳米材料,制备技术,过渡金属氮化物,贵金属,电子特性,抗腐蚀能力,高熔点,坚硬,耐磨,保护涂层,电极材料,催化剂制备,纳米结构,出展
AB值:
0.347496
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