典型文献
一种高灵敏度的电容式湿度传感器
文献摘要：
湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题.为了应对电容式湿度传感器的这些问题,提供了 一种优化设计,设计了一种MEMS电容式湿度传感器,在半导体工艺中,引入Mo金属层,作加热层和遮蔽电极层,从而减小湿滞和传感器寄生电容,感湿材料上选择含氟PI,进而提高传感器灵敏度.通过传感器湿度特性分析,证明了该湿度传感器有着灵敏度高、重复性好、湿滞效应小且器件尺寸小的优点.
文献关键词：
MEMS电容式湿度传感器;Mo加热层;聚酰亚胺(PI);半导体工艺
中图分类号：
作者姓名：
陈果;唐诚;王忠秀;王韬
作者机构：
电子科技大学,四川 成都610000;贵阳航天智慧农业有限公司,贵州 贵阳550000
文献出处：
引用格式：
[1]陈果;唐诚;王忠秀;王韬-.一种高灵敏度的电容式湿度传感器)[J].自动化应用,2022(08):36-37,41
A类：
B类：
高灵敏度,电容式湿度传感器,食品检测,环境监控,生物医疗,MEMS,半导体工艺,Mo,金属层,热层,遮蔽,寄生电容,上选,含氟,传感器灵敏度,灵敏度高,聚酰亚胺
AB值：
0.209369
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