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基于晶体相场法研究缺口形貌对微裂纹扩展连通的影响
文献摘要：
采用晶体相场方法研究金属微互连结构界面微裂纹在两种不同初始缺口区域形貌情况下的扩展连通过程.研究表明:微裂纹在两种初始缺口区域形貌下呈"树枝状"扩展;扩展过程中伴随着二次微裂纹和三次微裂纹的生长;微裂纹扩展面积占总面积的百分比随着演化时间的增加逐渐增大,主裂纹扩展面积占总扩展面积的百分比随着演化时间的增加而增大;初始缺口区域形貌为正方形的微裂纹扩展面积占总面积的百分比和主裂纹扩展面积占总扩展面积的百分比均高于初始缺口区域形貌为矩形的微裂纹扩展;初始缺口区域形貌的改变并不影响原子间距和原子波动周期.
文献关键词：
微裂纹;晶体相场方法;金属微互连;扩展连通
中图分类号：
作者姓名：
马文婧;王进;吕美妮;张宏泽;刘骏晨;张森;李钊良
作者机构：
广西机器视觉与智能控制重点实验室,广西 梧州 543002;梧州学院电子与信息工程学院,广西 梧州 543002
文献出处：
引用格式：
[1]马文婧;王进;吕美妮;张宏泽;刘骏晨;张森;李钊良-.基于晶体相场法研究缺口形貌对微裂纹扩展连通的影响)[J].山西冶金,2022(05):25-27
A类：
晶体相场方法,金属微互连
B类：
相场法,研究缺口,缺口形貌,微裂纹扩展,扩展连通,互连结构,结构界面,口区,树枝状,裂纹扩展面,总面积,演化时间,主裂纹,正方形,原子间,子波,波动周期
AB值：
0.204989
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