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微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法
文献摘要：
提出利用电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀工艺相结合的加工方法,以提高微小型光开关侧壁反射镜的表面粗糙度,进而提升光路传输效率.利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度进行表征,并开展了光路传输效率测试实验.结果表明,经聚焦离子束刻蚀后,微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度由190 nm减小到56 nm,光路传输效率由10.2％提高到39.1％.
文献关键词：
半导体工艺;微小型光开关;聚焦离子束;侧壁反射镜粗糙度;光路传输效率
中图分类号：
作者姓名：
徐浩然;卜瑛;代俊;刘东芳
作者机构：
上海无线电设备研究所,上海 201109;上海目标识别与环境感知工程技术研究中心,上海 201109;中国航天科技集团有限公司交通感知雷达技术研发中心,上海 201109;北京理工大学机电学院,北京 100081
文献出处：
引用格式：
[1]徐浩然;卜瑛;代俊;刘东芳-.微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法)[J].制导与引信,2022(01):56-60
A类：
微小型光开关,光路传输效率,侧壁反射镜粗糙度
B类：
镜光,效率优化,电感耦合等离子体,聚焦离子束,离子束刻蚀,刻蚀工艺,加工方法,表面粗糙度,原子力显微镜,效率测试,测试实验,半导体工艺
AB值：
0.124557
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