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喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究
文献摘要：
旋转主轴作为喷雾涂胶机的关键部件,其性能的优劣直接影响着光刻胶的喷涂质量.根据工艺要求提出了喷雾涂胶机旋转主轴的主要技术指标,建立了旋转主轴的三维模型,利用有限元软件ANSYS对旋转主轴进行了动态特性分析,验证了结构设计的合理性,为旋转主轴的开发设计提供了理论基础.
文献关键词：
喷雾涂胶机;旋转主轴;动态特性;有限元分析
中图分类号：
作者姓名：
贾月明;高岳;周哲
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]贾月明;高岳;周哲-.喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究)[J].电子工业专用设备,2022(03):65-68
A类：
喷雾涂胶机,旋转主轴
B类：
关键部件,光刻胶,喷涂质量,工艺要求,主要技术指标,动态特性分析,开发设计
AB值：
0.114731
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