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电容法间接测量薄膜厚度的研究
文献摘要：
通过采用电阻-电容电路(RC电路)的分压法、 电阻-电感-电容电路(RLC电路)的谐振法及数字电桥仪器直接测量的三种方法,结合变距式电容测量传感器装置,分别测量了塑料薄膜(100％PP,聚丙烯)及普通A4纸的厚度.利用以上三种方法分别获得样品材料的厚度与电容量的相互变化关系,从而实现了非电量与电量间的转换与测量过程.
文献关键词：
薄膜厚度;相对介电常数;RLC谐振法
中图分类号：
作者姓名：
章文婧
作者机构：
同济大学 航空航天与力学学院,上海 200092
文献出处：
引用格式：
[1]章文婧-.电容法间接测量薄膜厚度的研究)[J].实验室科学,2022(01):18-21
A类：
B类：
电容法,间接测量,薄膜厚度,RC,RLC,谐振,振法,数字电,电桥,直接测量,三种方法,变距,电容测量,量传,塑料薄膜,PP,聚丙烯,A4,上三,电容量,变化关系,非电量,相对介电常数
AB值：
0.492849
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