典型文献
一种基于Gabor变换的芯片缺陷特征增强方法
文献摘要：
由于特征信息获取受限,基于二维图像处理技术的芯片外观缺陷检测方法对微小外观缺陷的检测率不高.为满足开发高端芯片的微小外观缺陷检测算法的需要,本文提出了一种基于Gabor变换的芯片缺陷特征增强方法.首先基于光度立体法采集芯片外观图像并做算子运算,得到特征信息丰富的反照率图;然后利用Gabor变换对反照率图进行滤波处理,可得到局部特征信息增强的图像.实验表明,本文提出方法对微小缺陷的显现精度达到了0.04 mm,较传统二维图像处理方法提高了一个数量级.
文献关键词：
光度立体;Gabor变换;特征增强;3D重建
中图分类号：
作者姓名：
李笑容;覃志东;蔡勇;肖芳雄
作者机构：
东华大学 计算机科学与技术学院,上海201620;上海岳展精密科技有限公司,上海201614;金陵科技学院 软件工程学院,南京211169
文献出处：
引用格式：
[1]李笑容;覃志东;蔡勇;肖芳雄-.一种基于Gabor变换的芯片缺陷特征增强方法)[J].智能计算机与应用,2022(04):30-34,40
A类：
光度立体法
B类：
Gabor,芯片缺陷,缺陷特征,特征增强,增强方法,特征信息,信息获取,二维图像,图像处理技术,外观缺陷检测,缺陷检测方法,检测率,检测算法,反照率,滤波处理,局部特征,信息增强,微小缺陷,数量级
AB值：
0.279369
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