典型文献
电子化学品技术发展分析
文献摘要：
通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析.重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议.
文献关键词：
电子化学品;含氟电子气体;湿电子化学品;光刻胶;科技发展
中图分类号：
作者姓名：
于宸;顾方;鲁瑛;肖甲宏;白杨;朱文瀚
作者机构：
中国化工信息中心有限公司,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]于宸;顾方;鲁瑛;肖甲宏;白杨;朱文瀚-.电子化学品技术发展分析)[J].精细与专用化学品,2022(01):8-11
A类：
含氟电子气体,湿电子化学品
B类：
化学品技术,发展分析,光刻胶,全貌,成熟度,领先企业,技术布局
AB值：
0.100238
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