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典型文献
大口径连续位相板拼接检测技术研究
文献摘要:
区别于传统平面拼接检测方式,将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测,建立数学模型,通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合,完成连续位相板的检测,恢复其波前特征.本文通过仿真分析该方法的精度,并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集,对加工的连续位相板进行实验验证.通过仿真分析,拼接面形误差RMS约为0.0006?λ,实验结果显示100?mm?CPPs,拼接面形误差RMS约为0.0143?λ,子孔径拼接波前数据结果与全口径检测数据可以达到很好的一致性.
文献关键词:
光学测量;大口径连续位相板;子孔径拼接;波前干涉检测
作者姓名:
柴文松;季鹏;王波;张海涛;李铎
作者机构:
哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨 150001;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春 130033
引用格式:
[1]柴文松;季鹏;王波;张海涛;李铎-.大口径连续位相板拼接检测技术研究)[J].航空精密制造技术,2022(05):6-11
A类:
大口径连续位相板,波前干涉检测
B类:
拼接检测,传统平面,检测方式,六自由度,于连,检测装置,接面,面形误差,RMS,CPPs,子孔径拼接,数据结果,全口径,检测数据,光学测量
AB值:
0.257603
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