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MEMS"三明治"倾角传感器的仿真分析和优化设计
文献摘要：
对MEMS"三明治"式倾角传感器进行结构优化设计,敏感元件采用双梁-质量块结构,其中可动质量块通过双梁和周围框架相连,可动质量块和上下盖板构成上下差分电容.外界给定某一加速度时,上下间隙此消彼长,从而导致电容量发生变化.通过建立敏感元件的静力学模型,获得敏感元件的关键尺寸与其性能参数的关系,基于体硅工艺建立敏感元件的三维工艺模型,并采用ANSYS有限元仿真对敏感元件的灵敏度、线性度、谐振频率等参数进行分析计算,结果表明:敏感结构的一阶谐振频率为576.68 Hz,灵敏度为0.76 pF/g,±30°、±90°对应的线性度分别为0.8‰、3‰,均符合设计要求,最后给出了倾角传感器敏感元件的加工流程.
文献关键词：
MEMS倾角传感器;有限元仿真;灵敏度;线性度;谐振频率;体硅工艺
中图分类号：
作者姓名：
高旗;陈青松;杨挺;杨贵玉;张洪涛;张皓
作者机构：
北京遥测技术研究所 北京 100076
文献出处：
引用格式：
[1]高旗;陈青松;杨挺;杨贵玉;张洪涛;张皓-.MEMS"三明治"倾角传感器的仿真分析和优化设计)[J].遥测遥控,2022(05):120-126
A类：
体硅工艺
B类：
MEMS,三明治,倾角传感器,分析和优化,结构优化设计,敏感元件,双梁,质量块,块结构,动质量,盖板,差分电容,此消彼长,致电,电容量,静力学模型,关键尺寸,性能参数,三维工艺,工艺模型,有限元仿真,真对,线性度,谐振频率,pF,加工流程
AB值：
0.294294
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