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溅射功率对CrN涂层机械和耐腐蚀性能的影响
文献摘要：
为实现通过反应磁控溅射功率调控CrN涂层的机械和耐腐蚀行为,研究了溅射功率对CrN涂层化学成分、微观结构、机械性能及耐腐蚀性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增大,CrN涂层生长结构由致密的层状逐渐转变为稀疏的柱状,且Cr/N原子数比随之降低,诱导涂层由hcp-Cr2N和fcc-CrN的混合相向fcc-CrN单相转变.CrN涂层显著提高了钢基体的硬度和耐腐蚀性能,且增加溅射功率可以提高CrN涂层的硬度和耐摩擦磨损特性,但受生长结构的影响,涂层的耐腐蚀性能在低溅射功率制备条件下更优异.
文献关键词：
CrN涂层;生长结构;硬度;摩擦磨损性能;耐腐蚀性能
中图分类号：
作者姓名：
杜娇娇;夏航;张彧卓;邢伟亮;寇海江;张超
作者机构：
扬州大学机械工程学院,江苏扬州225009
文献出处：
引用格式：
[1]杜娇娇;夏航;张彧卓;邢伟亮;寇海江;张超-.溅射功率对CrN涂层机械和耐腐蚀性能的影响)[J].扬州大学学报（自然科学版）,2022(02):45-50
A类：
B类：
溅射功率,CrN,耐腐蚀性能,反应磁控溅射,功率调控,耐腐蚀行为,层化,机械性能,生长结构,层状,柱状,原子数,hcp,Cr2N,fcc,混合相,相向,单相,相转变,摩擦磨损特性,受生,制备条件,摩擦磨损性能
AB值：
0.248326
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