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光学晶体精密加工亚表面损伤缺陷的检测方法
文献摘要：
随着光学晶体精密加工技术的飞速发展,现代电子学、短波和强波光学对所用材料的选择标准越来越高.光学晶体表面要求达到超光滑标准,即晶体表面的粗糙度必须小于 1 nm,不能有破损痕迹和任何表层应力.因此,保证超精密加工技术的合理应用和光学晶体的质量尤为重要.文章探究了光学晶体的超精密加工方法和亚表面损伤缺陷的检测方法,希望能够严格把控光学晶体的质量.
文献关键词：
光学晶体;超精密加工;亚表面损伤
中图分类号：
作者姓名：
曹厚华;余江
作者机构：
电子科技大学广东电子信息工程研究院,东莞 523808;东莞市东电检测技术有限公司,东莞 523808
文献出处：
引用格式：
[1]曹厚华;余江-.光学晶体精密加工亚表面损伤缺陷的检测方法)[J].现代制造技术与装备,2022(12):155-157
A类：
B类：
光学晶体,亚表面损伤,精密加工技术,现代电子,电子学,短波,波光,用材,晶体表面,超光滑,粗糙度,痕迹,超精密加工,合理应用,加工方法
AB值：
0.207436
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