典型文献
基于仿真模型的垂直热场温度控制技术研究
文献摘要:
某垂直工艺设备加热系统的传热模型非常复杂,如何实现垂直热场的温度精密控制是研制该设备的关键难点技术之一.本文采用仿真研究的方法,分析了系统的热量传递方式及相应的传热数学模型,应用Comsol软件建立了传热结构及多物理场仿真模型,研究分析了反应管内热场的温度分布情况及可调节因素对内部温度场的影响规律,依此总结了恒温区的调试方法,并仿真调试出了较好的恒温区温度分布.通过在恒温区温度附近进行温度参数化扫描研究,并对仿真数据进行学习,建立了管内恒温区温度分布与炉体温度的线性化数学模型.实测恒温区曲线与仿真结果一致,说明仿真模型与实际情况吻合良好;利用线性化模型控制恒温区温度的斜率跟踪精度≤0.43℃,满足工艺使用要求,说明该方法准确有效.
文献关键词:
垂直热场;多物理场仿真;线性化模型;温度控制
中图分类号:
作者姓名:
李瑫;杨勇;孙龙;陈李松;黄志海
作者机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南 长沙 410111
文献出处:
引用格式:
[1]李瑫;杨勇;孙龙;陈李松;黄志海-.基于仿真模型的垂直热场温度控制技术研究)[J].电子元器件与信息技术,2022(09):101-105
A类:
垂直热场,炉体温度
B类:
温度控制,工艺设备,加热系统,传热模型,非常复杂,点技术,仿真研究,热量传递,传递方式,Comsol,热结构,多物理场仿真模型,内热,温度分布,可调节,调节因素,内部温度,依此,恒温,温区,调试方法,试出,温度参数,参数化,仿真数据,线性化模型,跟踪精度,使用要求,确有
AB值:
0.306274
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