典型文献
集成电路厂房洁净室暖通设计研究
文献摘要：
集成电路行业高速发展，洁净室暖通设计须达到相应标准要求，符合行业要求才能够适应现代化生产所需，
才能够为集成电路生产环节提供保障基础。在集成电路行业不断优化的过程中，暖通设计关系到厂房中整体集成
电路生产的质量，因此需要强化厂房洁净室的暖通设备，进一步推进集成电路行业发展。
文献关键词：
集成电路 厂房洁净室 暖通设计
中图分类号：
作者姓名：
崔增燕
作者机构：
北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，北京 100163
文献出处：
引用格式：
[1]崔增燕-.集成电路厂房洁净室暖通设计研究)[J].科海故事博览,2022(16):91-93
A类：
B类：
集成电路厂房,洁净室,暖通设计,应标,生产环节,保障基础,房中,暖通设备
AB值：
0.189948
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