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平面模具表面制作微纳米结构的实验研究
文献摘要：
1909 年，在法国物理学家佩兰（J.Perrin）发现了亚微米粒子的有序化排列以来，周期性排列的胶体晶体被应用于光子晶体、催化剂和生物医学等领域。近些年来，研究者发现周期排列的胶体晶体是一种很好的微结构加工辅助工具，借助其周期性，可以加工出与胶体晶体周期性相对应的周期性微纳米结构阵列。本文研究采用胶体晶体掩膜辅助电沉积工艺在平面模具表面制作微纳米结构。
文献关键词：
胶体晶体掩膜电沉积工艺;微纳米结构;平面模具
中图分类号：
作者姓名：
李兴瑞
作者机构：
鹤壁能源化工职业学院 河南 鹤壁 458030
文献出处：
引用格式：
[1]李兴瑞-.平面模具表面制作微纳米结构的实验研究)[J].中国机械,2022(12):84-88
A类：
平面模具,Perrin,胶体晶体掩膜电沉积工艺
B类：
微纳米结构,物理学家,佩兰,亚微米,米粒,有序化,光子晶体,辅助工具
AB值：
0.131144
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