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ng级加速度型MEMS微震仪研究
文献摘要：
介绍一种基于微机电系统传感技术(MEMS)制备的ng级微震仪,利用MEMS技术开发的微震仪采用加速度输出,具有极低的固有噪声、高的矢量保真度和良好的低频响应,与已商业化的Nanometrics Trillium Compact微震仪性能相当.MEMS微震仪竖直轴器件采用弹簧结构预拉伸设计来克服地球上1 g的重力,使得检验质量在正常工作时处于工作点平衡位置.利用基于边缘效应的电容位移传感技术,大幅提高位移传感灵敏度,保证仪器在相同带宽范围内具有与商用微震仪相当的测量分辨率,从而实现对地脉动振动峰观测.采用互谱相关法对MEMS微震仪及商用微震仪采集的数据进行处理,实验评估MEMS微震仪噪声谱密度优于1×10-8 m/s2/√Hz@0.1～10 Hz(1 ng/√Hz@0.1～10 Hz).在实验室内,MEMS微震仪成功监测到2019年12月26日18时36分湖北省孝感市发生的4.9级地震,初步证明了MEMS微震仪具有地震监测的能力.本文将对MEMS微震仪的工作原理、结构、工艺加工和静态噪声测试、环境适应性测试、原理样机研制情况进行详细介绍.
文献关键词：
MEMS微震仪;低噪声;地震监测
中图分类号：
作者姓名：
王秋;刘骅锋;涂良成
作者机构：
华中科技大学物理学院引力中心,湖北武汉430074;中山大学物理与天文学院/天琴中心,广东珠海519082
文献出处：
引用格式：
[1]王秋;刘骅锋;涂良成-.ng级加速度型MEMS微震仪研究)[J].中山大学学报（自然科学版）（中英文）,2022(06):144-150
A类：
Nanometrics,电容位移传感技术
B类：
速度型,MEMS,微震,微机电系统,技术开发,保真度,频响,Trillium,Compact,竖直,弹簧结构,预拉伸,检验质量,工作点,平衡位置,边缘效应,宽范围,商用,测量分辨率,地脉动,互谱,实验评估,噪声谱,谱密度,s2,实验室内,孝感市,级地震,地震监测,工艺加工,噪声测试,环境适应性,原理样机,样机研制,低噪声
AB值：
0.366767
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