典型文献
6～50MHz射频容性耦合Ar等离子体的放电特性
文献摘要：
通过光谱实验测量和PIC/MCC模拟,研究了6～50 MHz射频驱动下容性耦合氩等离子体的放电特性.固定气压为40 mTorr,气体流量为30 mL·min-1.结果表明,当频率和气压一定时,随着功率的增大,电子密度升高,电子温度降低;在气压和功率不变的情况下,随着频率的增加,电子温度升高,电子密度降低.通过模拟与实验对比发现,模拟结果与实验结果变化趋势较一致.电子能量分布函数均为双麦克斯韦分布,高能电子布居数随功率增大而减小,低能电子布居数随功率增大而增大.当功率恒定为60 W时,高能电子布居数不断增加,而低能电子布居数随频率的增加而减少,这可以解释电子温度随频率的增加而增加的原因.电场强度的时空分布表明,鞘层厚度随功率和频率的增加而减小.
文献关键词：
容性耦合放电;PIC/MCC模拟;电子能量分布函数
中图分类号：
作者姓名：
袁强华;秦彪;殷桂琴;刘朝晖
作者机构：
西北师范大学 物理与电子工程学院,甘肃 兰州 730070
文献出处：
引用格式：
[1]袁强华;秦彪;殷桂琴;刘朝晖-.6～50MHz射频容性耦合Ar等离子体的放电特性)[J].西北师范大学学报（自然科学版）,2022(05):34-41,62
A类：
B类：
50MHz,Ar,放电特性,光谱实验,实验测量,PIC,MCC,mTorr,气体流量,电子密度,电子温度,实验对比,电子能量分布函数,麦克斯韦,布居数,电场强度,鞘层,容性耦合放电
AB值：
0.286786
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