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考虑系统时变效应与预防性维护的平行机调度
文献摘要：
实施预防性维护(PM)能改善晶圆制造厂离子注入工序中设备状态从而改善晶圆卡(lot)加工时间延长的问题,基于此,研究考虑系统时变效应与预防性维护的平行机调度问题.以最小化最大完工时间为优化目标,建立包括设备可靠性以及工件实际加工时间约束的数学非线性规划模型.设计求解该模型的学习型遗传算法(LGA),针对问题特性引入最优支配规则改进变异操作,构建预防性维护知识库指导进化后期预防性维护决策,以提升算法质量.算例实验结果表明,改进的学习型遗传算法能有效应对系统时变效应对生产调度的影响,减少最大完工时间,具有实用价值.通过灵敏度分析实验研究晶圆卡对设备状态衰退的敏感程度和预防性维护对调度决策的影响,为实际车间调度提供决策支持.
文献关键词：
平行机调度;可靠性;时变效应;预防性维护;学习型遗传算法
中图分类号：
作者姓名：
张昕莹;陈璐;杨雯惠
作者机构：
上海交通大学 工业工程与管理系,上海 200240
文献出处：
引用格式：
[1]张昕莹;陈璐;杨雯惠-.考虑系统时变效应与预防性维护的平行机调度)[J].浙江大学学报（工学版）,2022(02):408-418
A类：
平行机调度,学习型遗传算法
B类：
时变效应,预防性维护,PM,晶圆制造,制造厂,离子注入,设备状态,lot,加工时间,调度问题,最小化最大完工时间,优化目标,设备可靠性,工件,实际加工,时间约束,非线性规划模型,LGA,变异操作,知识库,导进,维护决策,生产调度,灵敏度分析,敏感程度,调度决策,车间调度,决策支持
AB值：
0.272422
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