典型文献
多孔硅基V02纳米颗粒复合体的制备及增强No2室温气敏特性研究
文献摘要：
为了提高室温下多孔硅对NO2气体的灵敏度,提出采用化学气相输运沉积法在多孔硅表面生长VO2纳米颗粒,形成多孔硅基VO2纳米颗粒复合结构,通过调节VO,的沉积压强来改变VO2纳米颗粒的尺寸,研究其对多孔硅基VO2纳米颗粒复合结构室温气敏性能的影响.利用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪和透射电子显微镜对复合结构的微观形貌、物相和晶体结构进行表征分析.实验结果表明,在沉积压强为330 Pa下获得的复合结构,对摩尔分数为5×10-6的NO2的室温灵敏度达到最大(13.15),是多孔硅灵敏度的5.95倍,并具有良好的选择性.对NO2展现出优异的气敏性能是由于粒径较小的VO2纳米颗粒表面活性增强,与多孔硅之间形成较宽的耗尽层,从而提高了气敏性能.该研究将有助于提升多孔硅在NO2气敏传感器中的应用.
文献关键词：
材料;多孔硅;VO2纳米颗粒;异质结;NO2气敏传感器
中图分类号：
作者姓名：
梁继然;张颖;吴文豪;娄群
作者机构：
天津大学微电子学院,天津300072;天津市成像与感知微电子技术重点实验室,天津 300072
文献出处：
引用格式：
[1]梁继然;张颖;吴文豪;娄群-.多孔硅基V02纳米颗粒复合体的制备及增强No2室温气敏特性研究)[J].激光与光电子学进展,2022(21):180-187
A类：
气相输运沉积,室温气敏性能
B类：
多孔硅,硅基,V02,纳米颗粒,复合体,No2,气敏特性,NO2,沉积法,面生,VO2,复合结构,积压,场发射扫描电子显微镜,能谱仪,透射电子显微镜,微观形貌,晶体结构,表征分析,Pa,摩尔分数,表面活性,耗尽层,气敏传感器,异质结
AB值：
0.220229
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