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谷洪刚:跋涉于纳米之间为IC制造做量测
文献摘要：
"没有测量就没有科学;没有高端测量设备就没有智能制造."2022年5月23日,第九届国际光谱椭偏学大会(ICSE-9)在北京召开,华中科技大学机械学院青年教师谷洪刚获颁"保罗德鲁德奖(Paul Drude Award)".该奖是国际光谱椭偏领域最具影响力的学术奖项,以德国物理学家保罗·德鲁德(Paul Drude)命名,以纪念他在椭偏学领域做出的奠基工作.该奖每三年评选一次,授予在光谱椭偏领域做出突出贡献的青年学者,每届获奖者不超过2人.自1993年第一届国际光谱椭偏学大会在法国巴黎召开,到今年已是第九届.
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
宋洁
作者机构：
文献出处：
引用格式：
[1]宋洁-.谷洪刚:跋涉于纳米之间为IC制造做量测)[J].中国高新科技,2022(19):9-12
A类：
B类：
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AB值：
0.493723
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