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计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
文献摘要：
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准.结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上Si02膜厚标准片进行测量,示值误差＜0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测 量校准服务的准确性.
文献关键词：
计量学;计量型激光椭偏仪;椭偏测量;初始入射角;校准;微纳米薄膜
中图分类号：
作者姓名：
黎雄威;李琪;纪峰;李适;李伟;黄鹭;施玉书;皮磊
作者机构：
合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥230009;中国计量科学研究院,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]黎雄威;李琪;纪峰;李适;李伟;黄鹭;施玉书;皮磊-.计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究)[J].计量学报,2022(05):571-577
A类：
计量型激光椭偏仪,初始入射角,微纳米薄膜
B类：
校准方法,CCD,运动轴,空间线,光轴,自准直仪,俯仰角,偏摆角,标称,Si02,示值误差,椭偏测量
AB值：
0.184621
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