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浅谈多晶硅生产中碳杂质的分布和去除
文献摘要：
多晶硅企业生产中,从工业硅不可避免的引入碳杂质,在氯硅烷体系中以甲基取代基的形式体现,在氢气中以甲烷、一氧化碳或二氧化碳体现,最终,以代位碳(碳化硅)的形式体现.随着N型单晶硅的和半导体晶硅的发展,研究碳杂质的分布和去除已是多晶硅企业科技进步的重点.
文献关键词：
甲基氯硅烷;三氯氢硅;四氯化硅;取代反应
中图分类号：
作者姓名：
何鹏;杨洋
作者机构：
内蒙古通威高纯晶硅有限公司,内蒙古包头 014000
文献出处：
引用格式：
[1]何鹏;杨洋-.浅谈多晶硅生产中碳杂质的分布和去除)[J].世界有色金属,2022(16):144-147
A类：
B类：
多晶硅生产,中碳,碳杂质,工业硅,甲基取代,取代基,氢气,一氧化碳,代位,碳化硅,单晶硅,体晶,已是,企业科技,科技进步,甲基氯硅烷,三氯氢硅,四氯化硅,取代反应
AB值：
0.381898
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