典型文献
MEMS三维角度传感器设计研究
文献摘要：
为了实现高精度的角度测量,研发了一款MEMS三维角度传感器,明确了从结构设计、电路设计、软件开发至组装测试的研发流程.最终,成功研发的MEMS三维角度传感器是一款数字输出的低成本三维角度传感器,采用成熟的工业级MEMS芯片,内置滤波算法和补偿算法,更大程度消除误差,通过数字方式直接输出X/Y/Z三轴的角度数值,具有体积小、重量轻、精度高等特点.
文献关键词：
三维角度传感器;研发流程;精度高
中图分类号：
作者姓名：
周妤;朱颖;刘威;梁雪
作者机构：
西安创联电气科技(集团)有限责任公司,西安710065
文献出处：
引用格式：
[1]周妤;朱颖;刘威;梁雪-.MEMS三维角度传感器设计研究)[J].价值工程,2022(27):75-79
A类：
三维角度传感器
B类：
MEMS,传感器设计,角度测量,电路设计,软件开发,发至,研发流程,款数,内置,滤波算法,补偿算法,三轴,体积小,重量轻
AB值：
0.256642
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