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射频空心阴极放电中发光条纹形成的影响因素
文献摘要：
本文通过实验的方法,研究了氩气射频空心阴极放电(radio frequency hollow cathode discharge,RF-HCD)中发光条纹形成的影响因素.研究结果表明,在RF-HCD中,在一定的放电条件下,能清晰地观察到负辉区、法拉第暗区和正柱区.在RF-HCD中,功率、电极间距、气体流量和电极间有无介质管等均影响着发光条纹的形成.而背后更深层次的原因是电子密度、放电通道中是否存在正柱区、气压、以及介质管上的表面电荷等影响着RF-HCD中发光条纹的形成.如果放电时空心阴极孔外的电子密度达不到形成条纹的临界电子密度,则发光条纹无法形成;如果放电通道中不存在正柱区,即使密度足够大,条纹也无法在RF-HCD中形成;较高的流量和介质管上表面电荷的积累有利于条纹在RF-HCD中形成.
文献关键词：
射频空心阴极放电;条纹;电子密度;正柱区;表面电荷
中图分类号：
作者姓名：
贺柳良;王荣刚
作者机构：
北京建筑大学理学院 北京102616;苏州天华超净科技股份有限公司研发中心 苏州215121
文献出处：
引用格式：
[1]贺柳良;王荣刚-.射频空心阴极放电中发光条纹形成的影响因素)[J].真空科学与技术学报,2022(09):678-684
A类：
射频空心阴极放电,正柱区
B类：
条纹,氩气,radio,frequency,hollow,cathode,discharge,RF,HCD,法拉第,电极间距,气体流量,电子密度,放电通道,表面电荷,极孔
AB值：
0.162158
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