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硬脆基底材料超精密抛光技术研究进展
文献摘要：
随着高新技术的快速发展,对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求,传统的加工方法难以达到理想的表面精度.超精密抛光作为一种降低表面粗糙度、提高材料去除率,获得表面平坦化的加工技术被广泛用于材料表面末端精加工,以获得高精度的材料表面.本文结合近年来硬脆材料超精密抛光技术研究现状,分别介绍了磁流变抛光、离子束抛光和化学机械抛光等超精密抛光技术的原理及特点,总结了其在硬脆材料方面的应用研究进展,展望了硬脆材料超精密抛光技术未来的研究方向.
文献关键词：
硬脆基底材料;磁流变抛光;离子束抛光;化学机械抛光
中图分类号：
作者姓名：
范娜;陈传东;张忠义
作者机构：
包头稀土研究院,内蒙古 包头 014030
文献出处：
引用格式：
[1]范娜;陈传东;张忠义-.硬脆基底材料超精密抛光技术研究进展)[J].稀土,2022(02):20-31
A类：
硬脆基底材料
B类：
超精密抛光,抛光技术,精密制造,硬脆材料,表面质量,加工方法,难以达到,表面精度,表面粗糙度,高材,材料去除率,平坦化,加工技术,精加工,别介,磁流变抛光,离子束抛光,化学机械抛光,原理及特点
AB值：
0.221916
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