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物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究
文献摘要：
为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究.首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和ZrO2·Y2O3(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比.结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6％以内.
文献关键词：
热障涂层;物理气相沉积;涂层厚度;球坑仪
中图分类号：
作者姓名：
邓仲华;常振东;徐雷;胡江玮;蔡妍;牟仁德
作者机构：
京东方科技集团股份有限公司,北京 100016;中国航发北京航空材料研究院,北京 100095
文献出处：
引用格式：
[1]邓仲华;常振东;徐雷;胡江玮;蔡妍;牟仁德-.物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究)[J].真空,2022(06):73-77
A类：
球坑仪,GH3039,NiCrAlYSi
B类：
物理气相沉积,积热,热障涂层,批量生产,测厚,产时,涂层厚度,高温合金,ZrO2,Y2O3,YSZ,研磨时间,试片,涂覆,厚度测量,金相,抛物线,一涂,吻合度
AB值：
0.217772
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