典型文献
Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究
文献摘要：
为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量("含量"指摩尔分数)对Na-MoO3靶材结构、组织、致密度以及Na回收率的影响.结果表明:在烧结助剂Al含量为1％、Na含量为3％、烧结温度为450℃的实验条件下,可以制备出致密度高(相对致密度98.2％)、钠回收率高(94.3％)的Na-MoO3陶瓷靶材.随着掺杂含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低.将含1％Al和3％Na的氧化钼陶瓷靶材通过磁控溅射工艺溅射成膜,所制备的Na-MoO3薄膜结构致密,0.28％Na元素均匀弥散分布于薄膜中.
文献关键词：
放电等离子烧结;Na掺杂;MoO3陶瓷靶材;磁控溅射;Na离子源
中图分类号：
作者姓名：
雷金坤;李继文;李召阳;刘伟;徐流杰
作者机构：
河南科技大学 材料科学与工程学院, 河南 洛阳 471023;有色金属新材料及先进加工技术省部共建协同创新中心, 河南 洛阳 471023;金属材料磨损控制与成型技术国家地方联合工程研究中心, 河南 洛阳 471003
文献出处：
引用格式：
[1]雷金坤;李继文;李召阳;刘伟;徐流杰-.Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究)[J].电子元件与材料,2022(01):40-46,103
A类：
B类：
Na,MoO3,靶材,成膜性能,薄膜太阳能电池,钼酸钠,氧化钼,钼粉,放电等离子烧结技术,SPS,烧结温度,烧结助剂,摩尔分数,实验条件,密度高,相对致密度,磁控溅射,射工,射成,薄膜结构,弥散,离子源
AB值：
0.230264
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