典型文献
基于微结构的金属薄膜柔性应变传感器
文献摘要：
柔性应变传感器通常难以兼具高灵敏度和宽传感范围的性能.利用光刻工艺制备出微结构模板,将模板的微结构复制到聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面,然后在PDMS表面沉积金属膜层得到具有微结构的金属薄膜柔性应变传感器.结果表明,金属薄膜表面的微结构有效阻碍了微裂缝的延伸,该传感器具有较大的传感范围(拉伸应变极限为25％),并保留了金属薄膜传感器的高灵敏度(应变系数为154).此外,该传感器响应时间短(0.07 s),具有较小的迟滞系数(约8.8％),能够快速准确响应各种拉伸应变波形,其电学响应波形与拉伸应变波形具有一致性,并且能够稳定监测人体手腕关节动作.
文献关键词：
柔性应变传感器;微结构;金属薄膜;微裂缝;高灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
赵东阳;聂帮帮;齐国臣;宋慧谦;李保林;卫荣汉
作者机构：
郑州大学力学与安全工程学院,郑州 450001;郑州大学智能传感研究院,郑州 450001
文献出处：
引用格式：
[1]赵东阳;聂帮帮;齐国臣;宋慧谦;李保林;卫荣汉-.基于微结构的金属薄膜柔性应变传感器)[J].微纳电子技术,2022(10):1049-1057
A类：
B类：
金属薄膜,柔性应变传感器,高灵敏度,利用光,光刻工艺,工艺制备,复制到,聚二甲基硅氧烷,PDMS,积金,金属膜,膜层,微裂缝,拉伸应变,变极,薄膜传感器,应变系数,响应时间,迟滞,快速准确,电学响应,手腕关节
AB值：
0.248751
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