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蚀刻液组成对薄膜晶体管线路蚀刻性能的影响
文献摘要：
为了提高MoNb、AlNd金属薄膜的蚀刻速率,且使二者的蚀刻速率基本相同,采用改变蚀刻液各组分质量分数的方法进行了研究.结果表明,在蚀刻温度为45℃,磷酸质量分数为66.74％,硝酸质量分数为1.93％,醋酸质量分数为10.3％,水质量分数为8.3％时,AlNd、MoNb的蚀刻速率基本相等.通过蚀刻液各组分含量的优化,可以获得对MoNb、AlNd具有相同蚀刻速率的最佳配比.
文献关键词：
蚀刻速率;MoNb薄膜;AlNd薄膜;金属蚀刻液;晶体管线路
中图分类号：
作者姓名：
林钢;陈远明;张汉焱;谢泽雄
作者机构：
广东汕头超声电子股份有限公司,广东 汕头 515041;汕头超声显示器技术有限公司,广东 汕头 515041
文献出处：
引用格式：
[1]林钢;陈远明;张汉焱;谢泽雄-.蚀刻液组成对薄膜晶体管线路蚀刻性能的影响)[J].云南化工,2022(12):24-26,31
A类：
晶体管线路,MoNb,AlNd,蚀刻速率,金属蚀刻液
B类：
薄膜晶体管,金属薄膜,基本相同,醋酸,相等,组分含量,最佳配比
AB值：
0.086422
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