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典型文献
基于IPD工艺的滤波器设计
文献摘要:
采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器.利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化.低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm×0.1 mm,高通滤波器芯片尺寸为0.7 mm×1.3 mm×0.1 mm.芯片测试结果显示,低通滤波器的-3 dB截止频率高于4.85 GHz,带外抑制在5.89~16.8 GHz内大于35 dB;高通滤波器的-3 dB截止频率低于6.35 GHz,带外抑制在5.17 GHz以下时大于35 dB.这两款滤波器在所需的工作频率范围内与设计指标吻合良好,达到了设计要求.
文献关键词:
集成无源器件(IPD);高通滤波器;低通滤波器;电感;谐振
作者姓名:
李鹏浩;吴蓉;马骁;杨新豪;陈思婷;邱昕;郭瑞
作者机构:
兰州交通大学 电子与信息工程学院,兰州 730070;中国科学院微电子研究所,北京 100029
文献出处:
引用格式:
[1]李鹏浩;吴蓉;马骁;杨新豪;陈思婷;邱昕;郭瑞-.基于IPD工艺的滤波器设计)[J].半导体技术,2022(04):313-319
A类:
B类:
IPD,滤波器设计,集成无源器件,工艺设计,低通滤波器,高通滤波器,设计软件,电感元件,联和,并联谐振,支路,设计布局,电磁仿真,仿真优化,芯片尺寸,芯片测试,dB,截止频率,GHz,带外抑制,两款,工作频率,设计指标
AB值:
0.270264
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