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EVO MA 15钨灯丝扫描电子显微镜的日常维护
文献摘要：
钨灯丝扫描电子显微镜具有造价和运行成本低、样品适用性广的特点,在各研究机构的利用率很高,日常维护保养是保障其性能的必要手段.除了常规的扫描电子显微镜维护以外,因钨灯丝扫描电子显微镜结构特点,又有一些异于其它类型扫描电子显微镜的维护要点.以蔡司的EVO MA 15型钨灯丝扫描电子显微镜为例,从电子光学系统、真空系统、成像系统三个方面,阐述了钨灯丝扫描电子显微镜日常维护保养的具体办法,以供同行参考.
文献关键词：
钨灯丝扫描电子显微镜;日常维护
中图分类号：
作者姓名：
陈新芳;周静韵
作者机构：
华南农业大学测试中心,广东广州 510642
文献出处：
引用格式：
[1]陈新芳;周静韵-.EVO MA 15钨灯丝扫描电子显微镜的日常维护)[J].分析测试技术与仪器,2022(04):480-484
A类：
钨灯丝扫描电子显微镜
B类：
EVO,MA,运行成本,适用性广,日常维护保养,异于,维护要点,电子光学系统,真空系统,成像系统,具体办法
AB值：
0.143663
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