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废蚀刻液净化制工业磷酸关键参数的研究
文献摘要：
面板半导体行业中产生大量难以处理的磷酸基废蚀刻液,采用传统无害化处理工艺,既浪费资源又增加了生产成本.试验采用组合萃取反萃工艺净化废蚀刻液制得合格品工业磷酸,研究了萃取相比、萃取时间、反萃时间、反萃相比、反萃温度和反萃后静置时间等关键参数对磷酸收率的影响,确定了该组合萃取反萃工艺的最佳生产条件,为指导工业生产奠定了坚实的理论基础.
文献关键词：
工业磷酸;废蚀刻液;废酸净化;萃取+反萃;试验研究
中图分类号：
作者姓名：
段利中;邓国平
作者机构：
黄冈TCL 环境科技有限公司,湖北 黄冈 438000
文献出处：
引用格式：
[1]段利中;邓国平-.废蚀刻液净化制工业磷酸关键参数的研究)[J].硫磷设计与粉体工程,2022(04):19-23
A类：
废蚀刻液,磷酸基废蚀刻液,废酸净化
B类：
工业磷酸,半导体行业,无害化处理,处理工艺,浪费资源,取反,反萃,合格品,萃取时间,静置时间,该组,生产条件
AB值：
0.194199
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