典型文献
铟柱高度快速测量方法研究
文献摘要：
在红外探测器铟柱蒸发的工艺试验中,有需要测量大量铟柱高度的情况,因此对铟柱高度测量方法进行了研究.手动逐点测量铟柱高度方式的结果较为准确,但是测量速度比较慢,消耗时间比较多.快速自动测量的方法使用了显微镜的扫描功能,并利用图像识别技术来自动识别铟柱,能够一次获取所有铟柱的高度,所以测量速度很快.详细介绍了这两种方法的操作步骤和重要选项的设置.经过测算,用快速测量方法测量1000个铟柱的高度只需要30分钟,测量时间能够减少76％,极大地提高了测量效率.最后分析了两种不同测量方法的优点和缺点.
文献关键词：
红外探测器;铟柱;互连;高度测量
中图分类号：
作者姓名：
张鹏;冯晓宇;张轶
作者机构：
华北光电技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]张鹏;冯晓宇;张轶-.铟柱高度快速测量方法研究)[J].红外,2022(02):15-21
A类：
铟柱
B类：
快速测量,红外探测器,工艺试验,高度测量,逐点,速度比,比较慢,耗时间,快速自动,自动测量,图像识别技术,自动识别,很快,操作步骤,选项,极大地提高,测量效率,互连
AB值：
0.288586
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