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气体中痕量水蒸气测量技术进展
文献摘要：
气体中水蒸气含量测量在工业生产和科研领域发挥至关重要的作用.随着许多工业生产和科研领域对气体水分含量更加严格的测试要求,对于气体中水蒸气含量测量灵敏度的要求也越来越高.目前测量nmol/mol痕量水分的仪器方法有可调谐二极管激光吸收光谱法、光腔衰荡光谱法、大气压离子质谱仪法;达到这个痕量水平的传感器类测量技术有石英晶体微天平法、冷镜露点法、阻容法、电解法.针对这些测量方法的优缺点以及今后的发展趋势进行了论述分析,通过克服测量过程中的干扰因素,可在一定的程度上提高痕量水含量的测量准确性,对促进痕量水含量准确测量技术的发展有所裨益.
文献关键词：
气体痕量水分;湿度测量技术;水蒸气露点温度
中图分类号：
作者姓名：
宋巍巍;盖文;顾正华
作者机构：
中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所,四川绵阳621000
文献出处：
引用格式：
[1]宋巍巍;盖文;顾正华-.气体中痕量水蒸气测量技术进展)[J].计测技术,2022(03):10-15
A类：
激光吸收光谱法,气体痕量水分,湿度测量技术,水蒸气露点温度
B类：
技术进展,水蒸气含量,科研领域,水分含量,测量灵敏度,前测,nmol,可调谐二极管激光吸收光谱,光腔衰荡光谱,大气压,质谱仪,石英晶体微天平,阻容,电解法,干扰因素,水含量,测量准确性,准确测量,裨益
AB值：
0.224059
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