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微机电系统制造工艺综述
文献摘要：
微机电系统(MEMS)是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统,本文阐述了国内外微机电系统发展的情况,论述了微机电系统制造技术的种类、方法、材料及应用领域,总结了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工三种常用的MEMS加工工艺的原理、加工方法及应用,并基于目前的加工技术与应用现状对MEMS加工工艺的未来进行展望,提出从利用负压技术、刻蚀溶液或刻蚀气体的选择、调整循环速率等方向进行研究,从而改进MEMS加工工艺,实现微机电系统的突破发展.
文献关键词：
MEMS;湿法刻蚀;干法深刻蚀;表面微加工
中图分类号：
作者姓名：
胡艺森
作者机构：
南京理工大学机械工程学院,江苏南京,210094
文献出处：
引用格式：
[1]胡艺森-.微机电系统制造工艺综述)[J].新型工业化,2022(07):71-75
A类：
干法深刻蚀,表面微加工
B类：
微机电系统,统制,制造工艺,MEMS,集成电路,微机械,机械加工技术,机械系统,系统发展,制造技术,湿法刻蚀,加工工艺,加工方法,方法及应用,技术与应用,负压技术,破发
AB值：
0.205362
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