典型文献
半导体清洗剂可温控循环利用系统设计
文献摘要：
为提高对半导体清洗剂的循环使用能力,实现在清洗过程中对半导体清洗剂温度的有效控制,开展半导体清洗剂可温控循环利用系统的设计研究.选用SENSIRION-SHT20型号温度传感器、WALKER A39A55型号小型加热装置作为该系统的主要硬件设备.在硬件设备的支撑下,设计基于PID的半导体清洗剂温度调节控制、设定半导体清洗剂回收使用频率、优化半导体清洗剂循环使用模式.完成设计后,通过实验证明,在半导体清洗工作中,应用提出的循环利用系统能够有效提高对清洗剂的利用效率,从而减少清洗过程中的浪费.
文献关键词：
半导体;清洗剂;循环利用系统;可温控;硬件设计;软件设计
中图分类号：
作者姓名：
李安
作者机构：
长春教育学院,吉林 长春 130000
文献出处：
引用格式：
[1]李安-.半导体清洗剂可温控循环利用系统设计)[J].清洗世界,2022(10):39-41
A类：
SENSIRION,WALKER,A39A55
B类：
清洗剂,可温控,循环利用系统,循环使用,使用能力,洗过,SHT20,温度传感器,加热装置,硬件设备,PID,温度调节,使用频率,使用模式,硬件设计,软件设计
AB值：
0.197775
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