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无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制
文献摘要：
本文针对湿法腐蚀二氧化硅薄膜工艺,设计了一种无氧腐蚀清洗腔.同时介绍了湿法腐蚀二氧化硅原理,并重点阐述了无氧环境下的湿法腐蚀二氧化硅工艺过程控制.
文献关键词：
湿法腐蚀;无氧腐蚀;工艺过程控制
中图分类号：
作者姓名：
郭立刚;赵妍;艾海丰;郭育澎;王峥;王维桐
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]郭立刚;赵妍;艾海丰;郭育澎;王峥;王维桐-.无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制)[J].清洗世界,2022(08):19-20
A类：
无氧腐蚀
B类：
工艺过程控制,湿法腐蚀,二氧化硅薄膜,薄膜工艺,无氧环境
AB值：
0.154186
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