典型文献
基于波长积分双色法的小视场快速温度场测量
文献摘要：
激光退火技术有热预算低、瞬间温度高的特点,其温度场特性是材料电学性能的重要表征参数.准确实时测量瞬态小温度场对整体退火工艺过程的把控具有重要的参考价值.辐射测温法通过收集样品辐射光谱中特定波段的能量来实现温度的非接触在线测量,具有响应快、测温范围宽等特点.提出了一种基于InGaAs红外光电二极管的双色辐射测温系统设计方案,采用波长积分法对该测温系统进行精确标定,单波段带宽可达350 nm,能够对小于0.01 mm2的小视场进行稳定快速测量.去除标定热台稳定性后的测温重复性最大仅为0.05％oR(of reading,读数精度),精度小于1％,远超同类高温测量设备.在此基础上,结合有限元法热仿真结果,提出一种基于单个光电二极管测量温度场分布的方法,讨论了最高温度与读数温度之间的关系,为工艺参数评估提供了重要的数据支撑.
文献关键词：
辐射测温;激光退火;红外探测
中图分类号：
作者姓名：
李运锋;黄元昊;刘亚;蓝科
作者机构：
上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海 201203
文献出处：
引用格式：
[1]李运锋;黄元昊;刘亚;蓝科-.基于波长积分双色法的小视场快速温度场测量)[J].光学仪器,2022(02):1-6
A类：
oR
B类：
双色法,小视,视场,温度场测量,激光退火,瞬间,温度高,电学性能,表征参数,实时测量,瞬态,小温,整体退火,退火工艺,工艺过程,辐射测温,温法,辐射光谱,非接触,在线测量,InGaAs,光电二极管,测温系统,系统设计方案,积分法,波段带宽,mm2,快速测量,reading,读数,高温测量,测量设备,有限元法,热仿真,测量温度,温度场分布,最高温度,参数评估,红外探测
AB值：
0.467527
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