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无掩模定域性电沉积微镍柱成形过程研究
文献摘要：
为探究无掩模定域性电沉积微镍柱的成形过程,通过控制沉积时间利用体视显微镜观测微镍柱的形貌及尺寸,并采用Comsol软件研究不同沉积阶段下的阴极电流密度分布,验证了微镍柱的生长成形过程及其定域性.结果表明:电沉积成形微镍柱的过程主要分为表面基点、中间柱体和尖端生长3个部分.
文献关键词：
无掩模;定域性;电沉积;尖端效应
中图分类号：
作者姓名：
刘涛;贾卫平;吴蒙华;刘赛赛;肖雨晴
作者机构：
大连大学机械工程学院,辽宁大连116622
文献出处：
引用格式：
[1]刘涛;贾卫平;吴蒙华;刘赛赛;肖雨晴-.无掩模定域性电沉积微镍柱成形过程研究)[J].电加工与模具,2022(04):41-44,52
A类：
无掩模定域性电沉积
B类：
成形过程,过程研究,沉积时间,时间利用,体视显微镜,Comsol,软件研究,阴极电流,电流密度分布,长成,基点,柱体,尖端生长,尖端效应
AB值：
0.274777
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