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大尺寸氧化铟锡(ITO)靶材制备研究进展
文献摘要：
氧化铟锡(Indium Tin Oxide,ITO)靶材是屏幕显示器、光伏电池、功能玻璃等领域的关键原材料之一,已朝着大尺寸(长度至少600 mm)、高密度、低电阻率和高使用率的方向发展.本文介绍了高性能ITO靶材的技术特征,分析了大尺寸ITO靶材的需求和镀膜优势,总结了大尺寸ITO靶材的成型、烧结工艺及其研究应用现状,最后提出了制备大尺寸ITO靶材的研究方向.
文献关键词：
氧化铟锡(ITO);大尺寸靶材;制备;成型工艺;烧结工艺
中图分类号：
作者姓名：
姜峰;谭泽旦;黄誓成;陆映东;覃立仁;曾纪术;方志杰
作者机构：
广西科技大学机械与汽车工程学院,广西柳州 545616;广西晶联光电材料有限责任公司,广西柳州 545036;广西科技大学微电子与材料工程学院,广西柳州 545006
文献出处：
引用格式：
[1]姜峰;谭泽旦;黄誓成;陆映东;覃立仁;曾纪术;方志杰-.大尺寸氧化铟锡(ITO)靶材制备研究进展)[J].广西科学,2022(06):1169-1177,1187
A类：
大尺寸靶材
B类：
氧化铟锡,ITO,Indium,Tin,Oxide,屏幕显示,显示器,光伏电池,关键原材料,低电阻率,技术特征,镀膜,烧结工艺,研究应用现状,成型工艺
AB值：
0.284668
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